第188章 极紫外光源研制成功了 (第2/2页)
刻机。
而这个改造的光刻机主要是28nm的光刻机，因为现在国内的光刻机也只能勉强达到28nm工艺。
据魔都微电子透露，明年他们有望交付
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刻机。
而这个改造的光刻机主要是28nm的光刻机，因为现在国内的光刻机也只能勉强达到28nm工艺。
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